| 摘要 |
本发明提供一种配线形成系统及其方法，其中，光学式外观检查装置(13)系对于配线图案形成后之印刷基板之全区域，使用线宽测量长度运算法来测量长度配线图案之线宽。而且，光学式外观检查装置(13)系以区域(22)单位制作线宽直方图。而且，光学式外观检查装置(13)系于同一区域(22)，将制作之线宽直方图与主影像资料之线宽直方图进行比较，以制作线宽分布。资讯管理系统(14)系根据预定数之印刷基板所制作之线宽分布的平均来制作补正资料。曝光装置(12)系根据上述补正资料，以区域(22)单位进行使设计资料或曝光用之影像资料上之配线图案的线宽放大或缩小之补正。 |
