装置制造方法,光罩及装置

摘要

本发明揭示一种方法，其供用于制造CCD或CMOS影像感应器，其中一图案化辐射光束会投影至一由一层彩色辐射感应材料所覆盖之基板上。该图案化辐射光束包括一用以于产物晶粒之区中形成装置特征的图案，以及一用以于其他区中形成一对准标记特征的图案。以上所述使对准于一彩色光阻下之对准标记上的困难得以免除。