铁电畴阵列结构及其制备方法,及具有该结构之铁电膜

摘要

本发明涉及一种铁电畴阵列结构，其包括：复数铁电畴结构，该复数铁电畴结构具有奈米级直径，且以三角密排方式排布于一铁电超薄膜内。本发明还提供该铁电畴阵列结构之制备方法，其藉由向一铁电超薄膜施加一垂直于其表面之预定大小之电场，于该预定大小之外加电场之极化作用下，铁电超薄膜内之铁电畴可自组织生成一铁电畴阵列结构。该铁电畴阵列结构之制作工艺简单，且该铁电畴阵列结构中之铁电畴结构具有奈米级直径。另外，本发明还提供具有上述铁电畴阵列结构之铁电膜。