正型感光性树脂组成物、其应用及正型图案形成方法

摘要

本发明系提供可以硷金属碳酸盐之水溶液显像，可形成微细图案，具有优良之耐热性等之含有聚醯亚胺先质的正型感光性树脂组成物、正型图案之形成方法及该等之用途。本发明之正型感光性树脂组成物系含有：具有下述式(1)所示之构成单位的聚醯亚胺先质(A)100重量份、下述式(2)所示之交联剂(B)15～25重量份以及经由活性光线照射而产生酸的感光剂(C)2～5重量份。(式中，m表示1以上之整数，R表示1价以上之芳香族基或脂肪族基。)