摘要 |
本发明提供一种使用支持构件及使用驱动机构进行印刷基板之电性检查之印刷基板之电性检查装置及方法,该支持构件支持安装检查用探针之安装构件并使之可装卸,该驱动机构藉由使安装构件相对于印刷基板进退,而使检查用探针以特定之按压力与印刷基板相接触。在此,将检查用探针于与印刷基板接触时所施加之按压力作为作用于驱动机构之反作用力加以检测,再根据该检测值驱动驱动机构,藉此,控制检查用探针以特定之按压力与印刷基板相接触。又,根据检查用探针之物理特性与安装于安装构件之检查用探针之个数计算按压力,藉此,控制检查用探针以算出之按压力与印刷基板相接触。上述物理特性为检查用探针之尺寸、材质、以及弹簧常数中之至少任一项。或者,亦可考虑检查用探针之配置方法来计算按压力。 |