调变功率讯号以控制溅射之系统及方法

摘要

实施例包含溅射系统，溅射系统包含真空室；基底运输系统，配置成运输基底经过真空室；阴极，用于支撑溅射靶材，阴极至少部份地在真空室之内；及电源供应器，配置成供应电力给阴极，及配置成输出经过调变的功率讯号。视实施而定，电源供应器可以配置成输出调幅功率讯号；调频功率讯号；脉冲宽度功率讯号；脉冲位置功率讯号；脉冲振幅调变功率讯号；或是任何其它型式的经过调变的功率或能量讯号。