蒸发源机器及使用该机器之真空沉积装置

摘要

一种蒸发源机器及使用该机器之真空沈积装置，该真空沈积装置包含一真空腔室、一坩埚、一加热器以及位于该坩埚内部的一多层内部平板，其中该多层内部平板的每一层都具有至少一孔径，因此该蒸发材料可以从该坩埚底部透过该多层内部平板排出至该真空腔室之中。