| 摘要 |
本发明系提供一种成膜装置，系在使复数膜的层积在短时间内成膜。本发明的成膜装置5R、5G、5B系具有移动室45和旋转平台51，于旋转平台51的窗部52上搭载载置有基板9的载置板61。使旋转平台51旋转而移动窗部52时，载置板61在搭载基板9的状况下，与窗部52一起移动。仅特定角度旋转旋转平台51，从搬入场所56a输送新的基板9，将成膜处理毕的基板9输送至其他成膜场所57，使空的载置板61从搬出场所56b一次返回至搬入场所56a，因此可缩短将基板9搬运至各场所56a、56b、57的时间、或载置板61返回的时间。 |
