发明名称 |
具有孔隙尺寸控制于奈米等级之含孔隙材料 |
摘要 |
本发明提供一种多孔复合材料,其中在该复合材料内之大体上所有孔皆小,其具有约5nm或更小之直径且具有窄PSD。本发明的复合材料之特征亦在于实质上并无较大尺寸孔之宽分布,而此情况在先前技术之多孔复合材料中却甚普遍。该多孔复合材料包括具有第一特性尺寸之第一固相及包含具有第二特性尺寸之孔之第二固相,其中该等相之至少一者之特性尺寸乃经控制于约为5nm或更小之值。 |
申请公布号 |
TW200713450 |
申请公布日期 |
2007.04.01 |
申请号 |
TW095126992 |
申请日期 |
2006.07.24 |
申请人 |
万国商业机器公司 |
发明人 |
史蒂芬M 盖兹;森 古颜;艾佛列德 葛瑞尔;维许努海V 派特尔;黛博拉A 纽梅尔 |
分类号 |
H01L21/312(2006.01);C23C16/30(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/312(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
美国 |