| 摘要 |
一种可于广范围流量与浓度之下控制制程处理条件之液体材料供给装置。本液体材料供给装置包含装入液体来源材料之充填容器13，其液体来源材料之供给控制系使液体来源材料直接气化，使该气化气体藉由载流气体而输送以进行。充填容器包括：载流气体导入管11，用以将载流气体导入充填容器内；气化气体出口管15，用以将由载流气体输送之气化气体输出；液体来源补给管12，用以将液体来源材料补给至充填容器内；压力感测器P1，用以感应充填容器内压力；加热器JH，用以提供充填容器内之温度分布；温度检测装置TC，用以检测充填容器内之温度。 |
