| 摘要 |
课题提供对于基板，例如将显影液，洗净液，SOG溶液，光阻液等涂布液予以涂布之际，可减低涂布开始点周边的涂膜堆积，且也可减低涂膜整体的起波浪的涂膜形成方法。解决手段一种涂膜形成方法，属于藉由从相对地移动于被涂物1面上的开缝喷嘴2所供给的涂布液，于上述被涂物1面形成均匀性涂膜的方法，其特征为：开始涂布时，将上述开缝喷嘴2的涂布液吐出口2b接近于被涂物1面，之后，藉由驱动涂布液送液泵3，以涂布液连结上述涂布液吐出口2b与上述被涂物1面之间，然后，将上述涂布液的连结状态维持所定时间之后，开始涂布。 |
