发明名称 电离风机过滤单元
摘要 本发明提供一种电离风机过滤单元,其可于半导体工厂及LCD工厂等之无尘室中防止因静电放电(ESD)及微细尘埃而产生之问题,可提高产品之良率与生产性。本发明系关于一种于半导体工厂或LCD工厂等之无尘室中使用的用以吸入外部空气之电离风机过滤单元,其包含:风扇马达,其藉由风扇马达控制机构而驱动,以其一部分露出于上部之方式设置于上部盒上部,该上部盒叠层于上下敞开之下部盒之上;离子产生机构,其藉由离子输出方式之选择而施加高电压,藉由电晕放电产生用以除去静电之离子,并将其放射于被风扇马达吸入之空气中;以及过滤机构,其设置于下部盒内,过滤藉由风扇马达而吸入之空气,使由离子产生机构产生之离子扩散至经过滤之空气中。
申请公布号 TWI277437 申请公布日期 2007.04.01
申请号 TW094143297 申请日期 2005.12.08
申请人 艾昂皮亚股份有限公司 发明人 禹种泰
分类号 B01D35/06(2006.01);H01L21/00(2006.01) 主分类号 B01D35/06(2006.01)
代理机构 代理人 黄志扬 台北市中山区长安东路1段23号10楼之1
主权项 1.一种电离风机过滤单元,其特征在于,使如下部分 构成为一体: 风扇马达,其系用以吸入外部空气者,藉由风扇马 达控制机构而驱动,以其一部分露出之方式设置于 叠层于上下敞开之下部盒之上的上部盒内; 离子产生机构,其藉由离子输出方式之选择而施加 高电压,藉由电晕放电产生用以除去静电之离子, 并将其放射于藉由上述风扇马达而吸入之空气中; 以及 过滤机构,其设置于上述下部盒内,过滤藉由上述 风扇马达而吸入之空气,并使自上述离子产生机构 产生之离子扩散至上述经过滤之空气中。 2.如申请专利范围第1项所述之电离风机过滤单元, 其中,上述风扇马达控制机构包含: 操作部,其包含用以设定ID及设定风扇马达之驱动 环境之开关; 马达感应器输入部,其感知包含风扇马达在内之电 离风机过滤单元之运转状态; CPU,其分析上述操作部与上述马达感应器输入部之 输入,将控制信号输出至马达控制部与显示部等; 马达控制部,其藉由上述CPU之控制,控制风扇马达 之旋转速度;以及 显示部,其藉由上述CPU之控制,显示包含风扇马达 之旋转速度在内的电离风机过滤单元之动作状态 。 3.如申请专利范围第1或2项所述之电离风机过滤单 元,其中,上述风扇马达控制机构进而包含无线通 信模组,该无线通信模组接收自远程调整器无线发 出之用以远程控制电离风机过滤单元之动作的无 线信号,并将其提供至CPU。 4.如申请专利范围第1项所述之电离风机过滤单元, 其中,上述离子产生机构包含: 信号产生部,其产生用以采用离子输出方式之正极 信号与负极信号; 离子输出选择部,其选择离子输出方式; 信号调节部,其被施加上述信号产生部之正极信号 与负极信号,调节为采用藉由上述离子输出选择部 选择之离子输出方式; 反馈电路部,其自正极高电压输出部及负极高电压 输出部输入正极离子或负极离子之输出位准信号, 为将正极高电压输出部与负极高电压输出部之高 电压保持为固定位准,而将其转换为电压位准信号 ; 高电压调节部,其根据由上述反馈电路部输入之电 压位准信号与自身产生之经调整之基准位准信号 之比较结果以及上述信号调节部之离子输出方式, 将于正极高电压输出部与负极高电压输出部产生 之用以调节高电压之高电压调节信号施加至正极 高电压输出部或负极高电压输出部; 正极高电压输出部及负极高电压输出部,其藉由上 述高电压调节部之高电压调节信号而生成用以产 生离子之高电压,并将其施加至正极发射点(Positive Emitter Point)及负极发射点(Negative Emitter Point);以及 金属性及非金属性之正极发射点(Positive Emitter Point)及负极发射点(Negative Emitter Point),其藉由上述 正极高电压输出部与上述负极高电压输出部而施 加电压,为藉由电晕放电产生离子而设置于HEPA/ULPA 过滤器上。 5.如申请专利范围第1或4项所述之电离风机过滤单 元,其中,上述离子产生机构进而包含错误显示部, 该错误显示部比较由上述反馈电路部输入之电压 位准信号与上述高电压调节部之基准位准信号,判 断正极高电压输出部与负极高电压输出部之高电 压输出状态系正常抑或非正常,而显示该判定结果 。 6.如申请专利范围第4项所述之电离风机过滤单元, 其中,上述正极发射点及上述负极发射点以固定间 隔相互隔开地设置于支撑台,该支撑台设置于上述 HEPA/ULPA过滤器之上。 7.如申请专利范围第1项所述之电离风机过滤单元, 其中,上述过滤机构包含: 前置过滤器,其为自藉由上述风扇马达自外部吸入 之空气一次性地过滤尘埃等,而以倾斜之方式设置 于上述上部盒内之风扇马达两侧;以及 HEPA/ULPA过滤器,其再次性地过滤经上述前置过滤器 过滤之空气,为使由正极发射点(Positive Emitter Point) 及负极发射点(Negative Emitter Point)产生之离子扩散, 而水平地设置于上述下部盒内。 图式简单说明: 图1系表示先前之无尘室构造之概略图。 图2系表示本发明之实施例之电离风机过滤单元的 立体图。 图3系表示本发明之实施例之电离风机过滤单元的 分解立体图。 图4系表示图2及图3所示之离子产生机构(11)与风扇 马达控制机构(12)的构成图。 图5系表示将本发明之电离风机过滤单元设置于整 个无尘室之状态的设置状态图。 图6系表示将本发明之电离风机过滤单元设置于一 个装置之状态的设置状态图。
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