| 主权项 |
1.一种固态成像装置,其包含: 复数个光接收部分,其在一第一方向及在一与该第 一方向垂直之第二方向上排列; 复数个传输通道,其放置在该等个别光接收部分之 间且在该第二方向上延伸; 一第一传输电极、一第二传输电极及一第三传输 电极,其重复地放置在该等个别传输通道上在相同 平面中; 一像素间互连,其放置在与该第一传输电极相同平 面中且连接至在该第一方向上排列之复数个该等 第一传输电极; 一第二传输电极驱动互连,其在该第一方向上在该 第一传输电极及该像素间互连上延伸,且分别连接 至在该第一方向上排列之复数个该等第二传输电 极;及 一第三传输电极驱动互连,其在该第二方向上在该 第一、该第二及该第三传输电极上延伸且分别连 接至在该第二方向上排列之该第三传输电极。 2.如请求项1之固态成像装置,其中排列该第二及该 第三传输电极以邻接该光接收部分。 3.如请求项1之固态成像装置,其进一步包含一用于 在该第三传输电极驱动互连之上曝露该等个别光 接收部分之屏蔽膜。 4.如请求项1之固态成像装置,其中该第二传输电极 驱动互连由多晶矽或金属材料制得。 5.如请求项1之固态成像装置,其中该第三传输电极 驱动互连由多晶矽或金属材料制得。 6.如请求项1之固态成像装置,其中该等第二传输电 极驱动互连在该第一方向上各自分开。 7.如请求项1之固态成像装置,其中该等第三传输电 极驱动互连在该第一方向上各自分开。 8.如请求项1之固态成像装置,其中该第二传输电极 驱动互连之一宽度比该像素间互连之一宽度窄。 9.如请求项1之固态成像装置,其中该第三传输电极 驱动互连之一宽度比该第一传输电极之一宽度窄 。 10.一种制造一固态成像装置之方法,其包含下列步 骤: 注入杂质至一基板中以形成复数个光接收部分及 复数个传输通道,该光接收部分排列在一第一方向 及一与该第一方向垂直之第二方向上,且该传输通 道放置在该等个别光接收部分之间且在该第二方 向上延伸; 沉积一导电层于该基板上; 处理该导电层以形成在该等个别传输通道上在相 同平面中重复放置之一第一传输电极、一第二传 输电极及一第三传输电极,且形成一连接在该第一 方向上排列之该等复数个该等第一电极之像素间 互连; 形成一在该第一传输电极及该像素间互连之上之 第二传输电极驱动互连,该第二传输电极驱动互连 连接至在该第一方向上排列之该复数个该等第二 传输电极;及 形成一在该第一、该第二及该第三传输电极之上 之第三传输电极驱动互连,该第三传输电极驱动互 连连接至在该第二方向上排列之该复数个该等第 三传输电极。 11.如请求项10之制造一固态成像装置之方法,其中 在处理该导电层之该步骤中,形成该第二传输电极 及该第三传输电极,将其排列以调节该光接收部分 。 12.如请求项10之制造一固态成像装置之方法,在形 成该第三传输电极驱动互连之该步骤之后,其进一 步包含形成一曝露该等个别光接收部分之屏蔽膜 。 13.如请求项10之制造一固态成像装置之方法,其中 在形成该第二传输电极驱动互连之该步骤中,将多 晶矽或金属材料图案化以形成该第二传输电极驱 动互连。 14.如请求项10之制造一固态成像装置之方法,其中 在形成该第三传输电极驱动互连之该步骤中,将多 晶矽或金属材料图案化以形成该第三传输电极驱 动互连。 15.如请求项10之制造一固态成像装置之方法,其中 在处理该导电层之该步骤中,形成在该第一方向上 具有一分离形状之该第二传输电极。 16.如请求项10之制造一固态成像装置之方法,其中 在处理该导电层之该步骤中,形成在该第一方向上 具有一分离形状之该第三传输电极。 17.如请求项10之制造一固态成像装置之方法,其中 在该第二传输电极驱动互连之该步骤中,形成具有 一比该像素间互连更窄之一宽度的该第二传输电 极驱动互连。 18.如请求项10之制造一固态成像装置之方法,其中 在该第三传输电极驱动互连之该步骤中,形成具有 一比该第一传输电极更窄之宽度的该第三传输电 极驱动互连。 19.一种照相机,其包含: 一固态成像装置; 一光学系统,其使光聚焦在该固态成像装置之一成 像表面上;及 一讯号处理电路,其对来自该固态成像装置之一输 出讯号执行一预定讯号处理, 其中该固态成像装置包括: 复数个光接收部分,其排列在一第一方向及一与该 第一方向垂直之第二方向上; 复数个传输通道,其放置在该等个别光接收部分之 间且在该第二方向上延伸; 一第一传输电极、一第二传输电极及一第三传输 电极,其重复地放置在该等个别传输通道上在相同 平面中; 一像素间互连,其放置在与该第一传输电极相同之 平面中且连接至在该第一方向上排列之复数个该 等第一传输电极; 一第二传输电极驱动互连,其在该第一传输电极及 该像素间互连之上在该第一方向上延伸,且分别连 接至在该第一方向上排列之复数个该等第二传输 电极;及 一第三传输电极驱动互连,其在该第一、该第二及 该第三传输电极之上在该第二方向上延伸,且分别 连接至在该第二方向上排列之该第三传输电极。 图式简单说明: 图1系根据本发明之固态成像装置之一像素单元的 平面图; 图2A系图1之沿着线A-A'之横截面图,且图2B系图1之 沿着线B-B'之横截面图; 图3A至3H系用于制造根据该第一实施例之固态成像 装置之一处理之横截面图;及 图4系应用根据本实施例之该固态成像装置之一照 相机之一配置图。 |
