发明名称 PROCEDE DE REVETEMENT D'UNE SURFACE, FABRICATION D'INTERCONNEXION EN MICROELECTRONIQUE UTILISANT CE PROCEDE, ET CIRCUITS INTEGRES
摘要
申请公布号 FR2851258(B1) 申请公布日期 2007.03.30
申请号 FR20030001873 申请日期 2003.02.17
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE;ALCHIMER S.A. 发明人 BUREAU CHRISTOPHE;HAUMESSER PAUL HENRI;MAITREJEAN SYLVAIN;MOURIER THIERRY
分类号 C23C18/00;B05D1/02;B05D1/18;B05D3/00;C23C18/16;C23C18/18;C23C18/28;C25D5/02;H01L21/3205;H01L21/768;H05K3/42 主分类号 C23C18/00
代理机构 代理人
主权项
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