发明名称 Spin dryer
摘要
申请公布号 KR100701997(B1) 申请公布日期 2007.03.30
申请号 KR20000070951 申请日期 2000.11.27
申请人 发明人
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
地址