发明名称 Verfahren zur Herstellung von Elektroden auf einem Halbleitersubstrat
摘要
申请公布号 DE10214702(B4) 申请公布日期 2007.03.29
申请号 DE20021014702 申请日期 2002.04.03
申请人 PROMOS TECHNOLOGIES INC. 发明人 WU, CHAO CHUEH
分类号 H01L21/283;H01L21/768 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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