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发明名称
Verfahren zur Herstellung von Elektroden auf einem Halbleitersubstrat
摘要
申请公布号
DE10214702(B4)
申请公布日期
2007.03.29
申请号
DE20021014702
申请日期
2002.04.03
申请人
PROMOS TECHNOLOGIES INC.
发明人
WU, CHAO CHUEH
分类号
H01L21/283;H01L21/768
主分类号
H01L21/283
代理机构
代理人
主权项
地址
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