发明名称 Method for manufacturing fin field effect transistor
摘要
申请公布号 KR100701691(B1) 申请公布日期 2007.03.29
申请号 KR20050027947 申请日期 2005.04.04
申请人 发明人
分类号 H01L29/78;H01L21/318 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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