Verfahren zur Inspektion einer Vielzahl sich wiederholender dreidimensionaler Strukturen

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Inspektion einer Vielzahl von Strukturen auf der Grundlage eines Golden Templates, das durch Aufnahme und statistische Auswertung von Graustufen-Bildern gewonnen wurde und mit dem Graustufen-Bild der zu bewertenden Struktur positionsbezogen verglichen wird. Die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabenstellung, ein solches Inspektionsverfahren anzugeben, mit dem eine Positionierung der Teststruktur bezüglich des Golden Templates und eine Strukturerkennung mit Sub-Pixel-Genauigkeit erfolgt und die Nachteile der bekannten Verfahren vermiden werden, wird durch ein Verfahren gelöst, in welchem zur Positionierung jeder weiteren aufzunehmenden Struktur, welche einer ersten aufgenommenen Struktur folgt, die weitere Struktur im Wesentlichen entsprechend der ersten positioniert, geeignete Merkmalswerte des in dieser Position aufgenommenen Graustufen-Bildes ermittelt und daraus ein Ähnlichkeitsmaß ermittelt werden. Auf dieser Grundlage wird die Position der weiteren Struktur relativ zur Primärposition bestimmt mit Sub-Pixel-Genauigkeit korrigiert, bevor ein erneutes Graustufen-Bild aufgenommen wird, welches der weiteren Auswertung zugrunde liegt.