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发明名称 EXPOSURE METHOD OF CONTACT PAD USING PHASE MODULATION CAPABLE OF SECURING MAXIMUM SIZE OF CONTACT PAD
摘要
申请公布号 KR20070034787(A) 申请公布日期 2007.03.29
申请号 KR20050089342 申请日期 2005.09.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01L21/8242 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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