Vorrichtung und Verfahren zur kontinuierlichen Gasphasenabscheidung unter Atmosphärendruck und deren Verwendung

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur kontinuierlichen Gasphasenabscheidung unter Atmosphärendruck auf Substraten. Die Vorrichtung basiert hierbei auf einer Reaktionskammer, an deren offenen Seiten die Substrate entlanggeführt werden, wodurch auf der dem Kammerinneren zugewandten Seite der Substrate die entsprechenden Beschichtungen erfolgen können.