| 发明名称 |
Trägermechanismus von einem elektrostatischen Halter, Standvorrichtung und Plasma |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60305285(T2) |
申请公布日期 |
2007.03.29 |
| 申请号 |
DE20036005285T |
申请日期 |
2003.08.27 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES LTD. |
发明人 |
YANAGIDA, HISASHI |
| 分类号 |
C23C16/458;H01L21/205;H01L21/68;H01L21/683 |
主分类号 |
C23C16/458 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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