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Elektrodenanordnung zur Benutzung in einem Plasma-Behandlungssystem, das entfernbare Schienen aufweist, die für eine Neueinrichtung der Elektrode einstellbar sind, um Substrate verschiedener Breiten aufzunehmen. Die Elektrodenanordnung enthält eine Elektrode mit einer Mehrzahl von ersten Anschlußgliedern. Der Elektrode ist eine Mehrzahl von Schienen zugeordnet, die zusammenwirken, um die Substrate auf der Elektrode zu tragen. Jede der Schienen enthält eine Mehrzahl von zweiten Anschlußgliedern. Jedes der zweiten Anschlußglieder ist lösbar mit einem der ersten Anschlußglieder verbunden, um die Schienen abnehmbar an der Elektrode zu befestigen. |
