发明名称 电容器件、有机电介质叠层、含此类器件的多层结构及其制造方法
摘要 本发明涉及形成多层结构的方法及这些结构本身。在一个实施方式中,一种形成多层结构的方法包括:提供含有顺电填充料和聚合物的电介质组合物,其中,所述顺电填充料的介电常数在50到150之间;将所述电介质组合物施加于载体薄膜,从而形成包含介电层和载体薄膜层的多层薄膜;将所述多层薄膜层叠至线路芯,其中,所述多层薄膜的介电层面向所述线路芯;在加工前从所述介电层除去所述载体薄膜层;将一金属层施加于所述介电层,其中,所述线路芯、介电层和金属层形成平面电容器;以及对所述平面电容器进行加工以形成多层结构。
申请公布号 CN1937174A 申请公布日期 2007.03.28
申请号 CN200610105897.X 申请日期 2006.07.11
申请人 E.I.内穆尔杜邦公司 发明人 S·班纳吉;G·S·考克斯;K·H·迪茨
分类号 H01L21/02(2006.01) 主分类号 H01L21/02(2006.01)
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 代理人 徐迅
主权项 1.一种形成多层结构的方法,所述方法包括:提供含有顺电填充料和聚合物的电介质组合物,其中,所述顺电填充料的介电常数在50到150之间;将所述电介质组合物施涂于一载体薄膜,从而形成包含介电层和载体薄膜层的多层薄膜;将所述多层薄膜层叠至一线路芯,其中,所述多层薄膜的介电层面向所述线路芯;以及在加工前将所述载体薄膜层从所述介电层除去;向所述介电层镀覆一金属层,其中,所述线路芯、介电层和金属层形成平面电容器;以及对所述平面电容器进行加工以形成一多层结构。
地址 美国特拉华州