发明名称 PATTERN MEASURING DEVICE AND PATTERN MEASURING METHOD
摘要
申请公布号 KR100700467(B1) 申请公布日期 2007.03.28
申请号 KR20000054768 申请日期 2000.09.19
申请人 发明人
分类号 G01B11/02;H01L21/66;G01B21/00;G01B21/02;G01N21/956 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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