| 发明名称 | 恒温电迁移测试结构及其圆角光学邻近修正方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种恒温电迁移测试结构，以及一种通过修正得到这种结构的方法。常规用于测试的金属线结构从直角曲折或近似直角曲折形状被修改成拐弯处为圆弧形的圆角结构，通过这样的修改，可以解决原有结构因为薄膜电阻不均匀，而导致恒温电迁移测试不能正常进行的问题。 | ||
| 申请公布号 | CN1937218A | 申请公布日期 | 2007.03.28 |
| 申请号 | CN200510030006.4 | 申请日期 | 2005.09.23 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 王伟;张卿彦 |
| 分类号 | H01L23/522(2006.01);H01L21/768(2006.01) | 主分类号 | H01L23/522(2006.01) |
| 代理机构 | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人 | 楼仙英 |
| 主权项 | 1、一种恒温电迁移测试结构，需进行恒温电迁移测试的曲折形金属线采用这种结构，其特征在于，曲折形金属线的拐弯处为圆弧形，形成圆角结构。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江高科技园区张江路18号 | ||