发明名称 |
CMOS图像传感器及其制造方法 |
摘要 |
提供了一种CMOS图像传感器及其制造方法。该CMOS图像传感器包括半导体衬底,具有光电二极管和晶体管。层间绝缘层形成在半导体衬底的整个表面上。第一、第二和第三滤色镜层在层间绝缘体上以规则间隔形成。第一、第二和第三微透镜分别形成在第一、第二和第三滤色镜层上。微透镜具有至少两个不同的曲率。 |
申请公布号 |
CN1937238A |
申请公布日期 |
2007.03.28 |
申请号 |
CN200610154065.7 |
申请日期 |
2006.09.22 |
申请人 |
东部电子有限公司 |
发明人 |
黄俊 |
分类号 |
H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/146(2006.01) |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
林宇清;谢丽娜 |
主权项 |
1.一种CMOS图像传感器,包括:半导体衬底,具有光电二极管和晶体管;层间绝缘层,形成在半导体衬底的整个表面上;第一、第二和第三滤色镜层,在层间绝缘体上以规则间隔形成;以及对应于第一滤色镜层的第一微透镜、对应于第二滤色镜层的第二微透镜、以及对应于第三滤色镜层的第三微透镜,形成在每个对应的滤色镜层上,其中第一、第二和第三微透镜具有至少两个不同的曲率。 |
地址 |
韩国首尔 |