发明名称 CMOS图像传感器及其制造方法
摘要 提供了一种CMOS图像传感器及其制造方法。该CMOS图像传感器包括半导体衬底,具有光电二极管和晶体管。层间绝缘层形成在半导体衬底的整个表面上。第一、第二和第三滤色镜层在层间绝缘体上以规则间隔形成。第一、第二和第三微透镜分别形成在第一、第二和第三滤色镜层上。微透镜具有至少两个不同的曲率。
申请公布号 CN1937238A 申请公布日期 2007.03.28
申请号 CN200610154065.7 申请日期 2006.09.22
申请人 东部电子有限公司 发明人 黄俊
分类号 H01L27/146(2006.01);H01L21/822(2006.01) 主分类号 H01L27/146(2006.01)
代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司 代理人 林宇清;谢丽娜
主权项 1.一种CMOS图像传感器,包括:半导体衬底,具有光电二极管和晶体管;层间绝缘层,形成在半导体衬底的整个表面上;第一、第二和第三滤色镜层,在层间绝缘体上以规则间隔形成;以及对应于第一滤色镜层的第一微透镜、对应于第二滤色镜层的第二微透镜、以及对应于第三滤色镜层的第三微透镜,形成在每个对应的滤色镜层上,其中第一、第二和第三微透镜具有至少两个不同的曲率。
地址 韩国首尔