| 发明名称 | 用于传送提升组件的方法和装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供了用于传送提升组件的系统、方法和装置，该传送提升组件包括机架、安装在机架上的至少一组轮、安装在机架上的提升组件、适于控制提升组件的控制器、和安装在机架上的电机磁体阵列。传送提升组件适于响应于外部磁场的施加而被驱动并对移动的传送装置装载和卸载衬底。 | ||
| 申请公布号 | CN1937199A | 申请公布日期 | 2007.03.28 |
| 申请号 | CN200610127253.0 | 申请日期 | 2006.09.14 |
| 申请人 | 应用材料公司 | 发明人 | 罗伯特·B·劳伦斯;埃里克·A·英格哈特;迈克尔·R·赖斯;维纳·沙;苏杉特·克什提;杰弗里·C·哈德更斯 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/677(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 赵飞 |
| 主权项 | 1.一种装置，包括：机架；安装在所述机架上的至少一组轮；安装在所述机架上的提升组件；适于控制所述提升组件的控制器；和电机磁体阵列，所述电机磁体阵列安装在所述机架上并适于响应于外部磁场的施加而驱动所述装置。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||