发明名称 |
真空沉积硫化物薄膜期间吸收氧气和水的方法 |
摘要 |
本发明是一种在沉积多元素无机发光体薄膜组合物期间从蒸发气氛中吸收不需要的原子物种的方法。该方法包括在沉积室内无机发光体薄膜组合物沉积之前立即和/或在沉积期间同时蒸发一种或多种吸气物质。该方法改善用于全色交流电致发光显示器的无机发光体材料的发光度和发射光谱,其中全色交流电致发光显示器使用具有高介电常数的厚膜介电层。 |
申请公布号 |
CN1938448A |
申请公布日期 |
2007.03.28 |
申请号 |
CN200580008280.X |
申请日期 |
2005.03.15 |
申请人 |
伊菲雷技术公司 |
发明人 |
郑大元;保罗·巴里·德·贝尔·贝卢兹;斯蒂芬·查尔斯·库;阿卜杜勒·M·那夸;詹姆士·亚历山大·罗伯特·斯泰尔斯;李容先;特里·亨特;文森特·约瑟夫·阿尔佛雷德·普列塞 |
分类号 |
C23C14/34(2006.01);C23C14/06(2006.01);C23C14/22(2006.01);C23C16/22(2006.01) |
主分类号 |
C23C14/34(2006.01) |
代理机构 |
中原信达知识产权代理有限责任公司 |
代理人 |
郇春艳;郭国清 |
主权项 |
1.一种在沉积室内最小化产生不需要的原子物种的方法,其中在基材上沉积无机发光体薄膜组合物,该方法包括:-在所述沉积室内所述无机发光体薄膜组合物沉积之前立即蒸发和/或沉积期间同时蒸发一种或多种吸气物种,其中所述蒸发连续提供吸气物种,其在所述无机发光体薄膜组合物沉积期间吸收所述室内不需要的原子物种。 |
地址 |
加拿大艾伯塔省 |