| 发明名称 |
碳纳米管制造方法 |
| 摘要 |
本发明提供一种生长碳纳米管的方法，包括下列步骤：采用X光深刻电铸模造(LIGA，Lithography Eletroforming Micro Molding)制程形成一表面具有微孔结构的基底；采用化学气相沉积法在基底表面生长与其基本垂直的碳纳米管。本发明采用X光深刻电铸模造制程处理用于碳纳米管生长的基底，解决先前技术中碳纳米管取向性低且均匀性差的问题。 |
| 申请公布号 |
CN1307092C |
申请公布日期 |
2007.03.28 |
| 申请号 |
CN200410015376.6 |
申请日期 |
2004.02.12 |
| 申请人 |
鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
宋长志 |
| 分类号 |
C01B31/02(2006.01) |
主分类号 |
C01B31/02(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1.一种碳纳米管制造方法，其特征在于该方法包括下列步骤：采用X光深刻电铸模造制程形成一表面具有微孔结构的基底；采用化学气相沉积法在基底的微孔中生长与基底基本垂直的碳纳米管。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |
