发明名称 STABILIZATION OF MEMS MIRRORS IN CLOSED LOOP OPERATION
摘要
申请公布号 EP1766455(A2) 申请公布日期 2007.03.28
申请号 EP20050764507 申请日期 2005.06.29
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 TURNER, ARTHUR, MONROE;HEATON, MARK, WESLEY
分类号 G02B26/00 主分类号 G02B26/00
代理机构 代理人
主权项
地址