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发明名称 Methods and apparatus for symmetrical and/or concentric radio frequency matching networks
摘要
申请公布号 EP1760881(A3) 申请公布日期 2007.03.28
申请号 EP20060017886 申请日期 2006.08.28
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SORENSEN, CARL;WHITE, JOHN M.
分类号 H03H7/38;H01J37/32 主分类号 H03H7/38
代理机构 代理人
主权项
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