电磁悬浮与驱动的空间微运动方法与机械装置

摘要

本发明公开了一种电磁悬浮与驱动的空间微运动方法与机械装置。将微操作器固定在运动体上，在运动体的四个侧面和底面分别嵌入一组永磁阵列，与每组永磁阵列对应布置一组导线阵列，当运动体底面下的导线阵列通入电流时，导线阵列产生的电磁场与永磁阵列产生的电磁场相互作用，使运动体处于悬浮状态；改变通过每组导线阵列电流的大小和方向，能实现运动体上的微操作器所需6自由度的空间微运动、运动范围大、运动精度高、响应快的纳米级大范围运动。该装置主要适用于微机电系统、生物工程、集成电路芯片制造技术、分子原子操纵等纳米级大范围运动操作领域。

主权项

1.一种电磁悬浮与驱动的空间微运动方法，其特征在于：将微操作器固定在运动体上，在运动体的四个侧面和底面分别嵌入一组永磁阵列，与每组永磁阵列对应布置一组导线阵列，当运动体底面下的导线阵列通入电流时，导线阵列产生的电磁场与永磁阵列产生的电磁场相互作用，使运动体处于悬浮状态；改变通过每组导线阵列电流的大小和方向，能实现运动体上的微操作器所需6自由度的空间微运动。