加速度传感器

摘要

本发明所提出的加速度传感器(1)，具有悬臂梁结构，包括了以其固定端(221)为中心作往复弹性变形运动的悬臂(22)和、在悬臂(22)的自由端(222)上设置的磁铁体(21a(b))、以及在悬臂(22)的往复动作领域的外周面上配置了磁性检出头部(23(b))的加速度检测单元(2a(b))。并且，本发明所提出的加速度传感器(1)，为了补正磁性检出头部(23a)、(23b)输出的检出信号，配备了分别检测作用于磁性检出头部(23a)、(23b)和磁铁体(21a)、(21b)的周边外界磁场的周边外界磁场检出部(43a)、(43b)。

主权项

1.一种加速度传感器，其特征在于，具有悬臂梁结构，包含了以固定于设置在基板上的支持部件上的固定端为中心作往复弹性变形运动的悬臂和、配置在该悬臂自由端上的磁铁体、以及配置在上述悬臂的往复动作领域的外周一侧的包括磁性检出头部在内的加速度检测单元。并且，所述加速度传感器，为了补正上述磁性检出头部输出的检出信号中的误差成分，配备了检测作用于上述磁性检出头部和上述磁铁体的周边外界磁场的周边外界磁场检出部。