发明名称 |
互锁运动控制方法 |
摘要 |
一种互锁运动控制方法,用于半导体封装、测试设备中,以控制移载半导体组件的多数组移载装置,包括步骤:根据第一移载装置是否移动至安全位置,判断该第一移载装置的安全标记是否可设为安全状态;移动至少一第二移载装置至检查位置,开始检查该第一移载装置的安全标记状态;当该第一移载装置的安全标记为安全状态,则使该第二移载装置加速或匀速以使其完成运作;当该第一移载装置的安全标记为不安全状态,则减速该第二移载装置,直至该安全标记为安全状态。通过该方法可避免在同一时间运动中的移载装置发生互相碰撞,进而减短各运作间的运作空档,以得到最佳化的运作流程及移动速度,提高半导体封装、测试设备的生产量,达到省时安全的主要目标。 |
申请公布号 |
CN1307685C |
申请公布日期 |
2007.03.28 |
申请号 |
CN200310119885.9 |
申请日期 |
2003.12.05 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
黄甦;赵时兴;粘永峰 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/50(2006.01);H01L21/66(2006.01);G05D11/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
隆天国际知识产权代理有限公司 |
代理人 |
郭凤麟;徐恕 |
主权项 |
1.一种互锁运动控制方法,应用于半导体封装、测试设备中,用以控制移载半导体组件的至少一第一移载装置及一第二移载装置,该方法包括下列步骤:a)根据该第一移载装置是否移动至一安全位置,以判断该第一移载装置的安全标记是否可设为安全状态;b)移动至少该第二移载装置至一检查位置,开始检查该第一移载装置的安全标记的状态;c)当该第一移载装置的安全标记为安全状态,则使该第二移载装置的移动速度加速或匀速以完成运作;d)当该第一移载装置的安全标记为不安全状态,则减速该第二移载装置的移动速度,直至该安全标记为安全状态;由此,得到一最佳化的运作流程以及移动速度以提高半导体封装、测试设备的生产效率。 |
地址 |
台湾省新竹县 |