| 发明名称 | 垂直滤色片传感器组及其制造所用的半导体集成电路制造方法 | ||
| 摘要 | 通过半导体集成电路制造工艺在基片(最好是半导体基片)上形成一种垂直滤色片传感器组，该传感器组包括至少两个垂直堆叠的光敏传感器。本发明的其它方面是这种垂直滤色片传感器组所构成的阵列以及制造这种垂直滤色片传感器组及其阵列所用的方法。在一些实施例中，传感器组是具有读出表面的固体材料块。在该材料块中形成至少两个垂直堆叠的传感器，并且在传感器之一和读出表面之间构造出接触槽(trench contact)。 | ||
| 申请公布号 | CN1938856A | 申请公布日期 | 2007.03.28 |
| 申请号 | CN200480042766.0 | 申请日期 | 2004.05.27 |
| 申请人 | 佛文恩股份有限公司 | 发明人 | R·B·梅里尔;R·A·马丁 |
| 分类号 | H01L29/06(2006.01);H01L27/00(2006.01) | 主分类号 | H01L29/06(2006.01) |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 陈炜 |
| 主权项 | 1.一种传感器组，包括：具有读出表面的固体材料块，在所述固体材料块中形成至少两个垂直堆叠的传感器，其中每一个传感器具有不同的光谱响应，所述传感器包括多层半导体材料并且被配置成加偏压以充当光电二极管；以及在所述传感器之一和所述读出表面之间的接触槽。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||