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发明名称
SELF-ALIGNED TRANSISTOR AND DIODE TOPLOGIES IN SILICON CARBIDE THROUGH THE USE OF SELECTIVE EPITAXY OR SELECTIVE IMPLANTATION
摘要
申请公布号
EP1428248(A4)
申请公布日期
2007.03.28
申请号
EP20020806537
申请日期
2002.07.12
申请人
MISSISSIPPI STATE UNIVERSITY
发明人
CASADY, JEFFREY, B.;CARTER, GEOFFREY, E.;KOSHKA, YAROSLAV;MAZZOLA, MICHAEL, S.;SANKIN, IGOR
分类号
H01L21/04;H01L21/331;H01L29/24;H01L29/732;H01L29/739;H01L29/80;H01L29/861
主分类号
H01L21/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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