发明名称 |
位移检测器件 |
摘要 |
在具有用于调整板的IC芯片的位移检测器件中,在组装或使用该器件期间,硅破裂碎片可能会从松动切屑上掉落,并影响位移检测器件的性能。通过设置芯片的IC芯片晶片上的研磨迹线与IC芯片的侧脊上的垂直线所成的角度小于45度,更优选为10-45度,可以减少IC芯片的侧脊上的切屑,包括松动切屑。可避免使用在侧脊上具有松动切屑的IC芯片用于调整板,并且可以提供高度可靠的位移检测器件。 |
申请公布号 |
CN1936591A |
申请公布日期 |
2007.03.28 |
申请号 |
CN200610154224.3 |
申请日期 |
2006.09.15 |
申请人 |
日立金属株式会社 |
发明人 |
高田良晶;落合秀行;西野庆一;斋藤正胜 |
分类号 |
G01P15/12(2006.01);H01L29/84(2006.01);B81B7/02(2006.01) |
主分类号 |
G01P15/12(2006.01) |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 |
代理人 |
康建忠 |
主权项 |
1、一种位移检测器件,包括:位移检测元件,其具有将通过外力而变形的柔性可变形部分,并测量所述柔性可变形部分的位移以发射检测信号;IC芯片,其具有用于电处理来自位移检测元件的检测信号的电子电路,并设置成使得IC芯片的后表面面向所述柔性可变形部分,并与所述柔性可变形部分具有预定间隙,从而机械地防止所述柔性可变形部分过度变形;以及安装所述位移检测元件和IC芯片的保护壳;其中,所述IC芯片的后表面具有与IC芯片的侧脊上的垂直线成0-45度角的研磨迹线。 |
地址 |
日本东京 |