发明名称 一种减压自组装生长三维光子晶体薄膜的方法及装置
摘要 本方法涉及一种减压自组装生长三维光子晶体薄膜的方法,是在8~90℃,0.5~50kPa,将单分散的用于光子晶体的胶体溶液,按照常规的垂直沉积法,进行1~2小时的自组装生长,得到三维光子晶体薄膜。本发明还提供一种自组装生长三维光子晶体薄膜的装置,包括一生长沉积瓶,装于其外部的恒温装置,和固定于生长沉积瓶中的载玻片,其特征在于:所述的生长沉积瓶为一密封的、通过真空抽气管接头及抽气管和抽真空系统相连的沉积瓶。使用本方法提供的自组装生长三维光子晶体薄膜的方法,在较低的温度和较短的时间,即可生长出1cm长、5~20层胶体颗粒厚度的三维光子晶体薄膜,且晶体的光学质量非常好。
申请公布号 CN1936074A 申请公布日期 2007.03.28
申请号 CN200510086449.5 申请日期 2005.09.21
申请人 中国科学院物理研究所 发明人 孟庆波;郑中玉
分类号 C23C18/00(2006.01);C30B7/02(2006.01) 主分类号 C23C18/00(2006.01)
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 代理人 高存秀
主权项 1、一种减压自组装生长三维光子晶体薄膜的方法,包括如下的步骤:在8~90℃,0.5~50kPa,将单分散的用于光子晶体的胶体溶液,按照常规的垂直沉积法,进行1~2小时的自组装生长,得到三维光子晶体薄膜。
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