发明名称 一种可以转出的带有记忆功能的六自由度精密调节装置
摘要 本实用新型涉及一种六自由度精密调节装置,具体公开了一种可以转出的带有记忆功能的六自由度精密调节装置,包括支架、托架和六自由度调节机构,所述六自由度调节机构通过托架与支架固定连接,还包括转出机构;转出机构固定在支架上,其与六自由度调节机构的调节盘转轴连接。本实用新型可以手动转出、并且带有位置“记忆”功能、可以实现对六自由度的独立调节。在实际使用中只需提供相应接口和空间就可安装。相对于其它的调节装置,其调节过程简单准确、快速高效,具有良好的检修性,维护方便。
申请公布号 CN2884264Y 申请公布日期 2007.03.28
申请号 CN200620041223.3 申请日期 2006.04.20
申请人 上海微电子装备有限公司 发明人 唐海明;朱岳彬;严天宏
分类号 G03F7/20(2006.01) 主分类号 G03F7/20(2006.01)
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 王洁
主权项 1.一种可以转出的带有记忆功能的六自由度精密调节装置,包括支架(1)、托架(3)和六自由度调节机构,所述六自由度调节机构通过托架(3)与支架(1)固定连接,其特征在于,还包括转出机构;所述六自由度调节机构包括:与托架连接的大螺钉(2)、3根顶针(4)和设置在托架下方的上法兰圈(5)、下法兰(6)、XY向调节座(7)、调节板(20)、调节盘(24);上法兰圈(5)固定设置在下法兰(6)上,其上表面设有v型槽、所述顶针的头部嵌入v型槽内;所述大螺钉(2)的下端拧紧在下法兰上;下法兰(6)固定设置在XY向调节座(7)上;XY向调节座(7)可调节的固定设置在调节板(20)上;调节板(20)可调节的固定设置的调节盘(24)上;所述转出机构固定在支架(1)上,其与六自由度调节机构的调节盘(24)转轴连接。
地址 200092上海市张江高科技园区张东路1525号