| 发明名称 | 用于铁电薄膜的金属有机化学气相沉积和退火处理 | ||
| 摘要 | 一种制造c轴定向的铁电薄膜的方法，其包括：准备一衬底；通过金属有机化学气相沉积，其包括使用一前体溶液，沉积一铁电材料层，所述前体溶液在汽化器温度约为140-200℃具有约为0.1M/L的铁电材料浓度；以及将所述衬底和所述铁电材料层在约500-560℃温度下退火处理约30-120分钟。 | ||
| 申请公布号 | CN1307322C | 申请公布日期 | 2007.03.28 |
| 申请号 | CN02128590.X | 申请日期 | 2002.08.13 |
| 申请人 | 夏普公司 | 发明人 | 李廷凯;潘威;许胜籐 |
| 分类号 | C23C16/18(2006.01);C23C16/40(2006.01) | 主分类号 | C23C16/18(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 崔幼平;郑建晖 |
| 主权项 | 1.一种制造c轴定向的铁电薄膜的方法，其包括：准备一衬底；通过金属有机化学气相沉积(MOCVD)，其包括使用一前体溶液，沉积一铁电材料层，所述前体溶液在140-200℃的汽化器温度下具有0.1M/L的铁电材料浓度；以及将所述衬底和所述铁电材料层在500-560℃温度下退火处理30-120分钟，以生产出具有结晶粒度为0.8μm的铁电薄膜；其中，所述沉积过程包括在300-450℃的沉积温度下沉积所述铁电材料层。 | ||
| 地址 | 日本大阪市 | ||