| 发明名称 | 一种气体传感器及其阵列 | ||
| 摘要 | 一种气体传感器及其阵列，气体传感器的组成为：硅基片(1)的背面制作有一杯状空腔(2)，杯状空腔(2)的顶部为硅应变膜片(3)；硅应变膜片(3)中分布有四个应变电阻(5、6、7、8)并相连构成惠斯通电桥；硅应变膜片(3)的上表面附着有对被测气体敏感的聚合物薄膜(4)。该种气体传感器体积小、易于集成和批量生产，工作时无需加热，功耗低、可检测多种有机气体。以该种传感器为单元，多个传感器单元集成于一块芯片上构成气体传感器阵列，有利于改善气体传感器的选择性。 | ||
| 申请公布号 | CN1936564A | 申请公布日期 | 2007.03.28 |
| 申请号 | CN200610022017.2 | 申请日期 | 2006.10.09 |
| 申请人 | 西南交通大学 | 发明人 | 陈向东;严俊 |
| 分类号 | G01N27/407(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | G01N27/407(2006.01) |
| 代理机构 | 成都博通专利事务所 | 代理人 | 陈树明 |
| 主权项 | 1、一种气体传感器，其组成为：硅基片(1)的背面制作有一杯状空腔(2)，杯状空腔(2)的顶部为硅应变膜片(3)；硅应变膜片(3)中分布有四个应变电阻(5、6、7、8)并相连构成惠斯通电桥；惠斯通电桥的四个应变电阻(5、6、7、8)的位置分布应使：硅应变膜片(3)没有应变时，惠斯通电桥平衡，硅应变膜片(3)有应变时，惠斯通电桥失衡；硅应变膜片(3)的上表面附着有对被测气体敏感的聚合物薄膜(4)。 | ||
| 地址 | 610031四川省成都市二环路北一段111号 | ||