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发明名称 METHOD OF ETCHING
摘要
申请公布号 EP1225621(A4) 申请公布日期 2007.03.28
申请号 EP20000954910 申请日期 2000.08.23
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 KOBAYASHI, KEN;HAGIHARA, MASAAKI;NAITO, WAKAKO;INAZAWA, KOICHIRO
分类号 H01L21/302;C23F4/00;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/312;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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