一种具有压差补偿功能的气体传感器

摘要

一种具有压差补偿功能的气体传感器，其组成为：硅基片上制作有两个完全相同且相邻的杯状感压结构，每个杯状感压结构包括一个感压膜片和在其周围起支撑作用的基座，感压膜片中分布有四个应变电阻并相连构成惠斯通电桥；其中一个杯状感压结构顶部的感压膜片的上表面附着有对被测气体敏感的聚合物薄膜，作为气体感测区；另一个杯状感压结构顶部的感压膜片的上表面裸露，作为压差补偿区。该传感器内还可集成温度补偿区以同时实现压差补偿与温度补偿的功能。本发明气体传感器用微电机械系统(MEMS)技术加工，工艺可靠成熟，易于集成和批量生产，无需加热，功耗低，可检测有机气体，选用不同的聚合物薄膜可方便地制成检测不同气体的传感器。

主权项

1、一种具有压差补偿功能的气体传感器，其组成为：硅基片(1)上制作有两个完全相同且相邻的杯状感压结构，每个杯状感压结构包括一个感压膜片(3)和在其周围起支撑作用的基座(2)，感压膜片(3)的周围边缘与基座(2)的顶部固定相连，感压膜片(3)中分布有四个应变电阻(5、6、7、8)并相连构成惠斯通电桥，惠斯通电桥的四个应变电阻(5、6、7、8)的位置分布应使：硅应变膜片(3)没有应变时，惠斯通电桥平衡，硅应变膜片(3)有应变时，惠斯通电桥失衡；其中一个杯状感压结构顶部的感压膜片(3)的上表面附着有对被测气体敏感的聚合物薄膜(4)，作为气体感测区；另一个杯状感压结构顶部的感压膜片(3)的上表面裸露，作为压差补偿区。