| 发明名称 |
Nanometric mechanical oscillator, method of fabricating the same, and measurement apparatus using the same |
| 摘要 |
A nanometric mechanical oscillator comprising a triangular-pyramidal probe formed on an insulating film on a semiconductor substrate such that the probe projects outward in an overhung state. |
| 申请公布号 |
EP1767490(A2) |
申请公布日期 |
2007.03.28 |
| 申请号 |
EP20070000436 |
申请日期 |
2000.07.11 |
| 申请人 |
JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY AGENCY |
发明人 |
KAWAKATSU, HIDEKI;TOSHIYOSHI, HIROSHI |
| 分类号 |
B81B3/00;G01P3/12;B81B1/00;B82B1/00;B82B3/00;G01B21/30;G01L1/04;G01P15/00;G01P15/02;G01P15/08;G01P15/097;G01Q10/00;G01Q10/04;G01Q20/02;G01Q20/04;G01Q60/22;G01Q60/32;G01Q60/38;G01Q60/42;G01Q70/06;G01Q70/12;G01Q70/16;G11B9/00;G11B9/14;H01L29/84;H01L41/08;H01L41/09;H03H9/02;H03H9/145 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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