| 发明名称 | 电容型位移传感器 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种位移响应装置，例如测量探头(110)。探针(130)的位移使被板簧(112)和(114)支撑的托架(134)发生可回复的运动。该运动可被由两个圆筒(164)和(166)形成的电容传感器(160)探测。这两个圆筒以至少三个自由度运动且所述运动过程中的电容量的变化可由电路(例如图5中所示)测定。x，y和z方向的运动可被检测出。 | ||
| 申请公布号 | CN1307406C | 申请公布日期 | 2007.03.28 |
| 申请号 | CN02800235.0 | 申请日期 | 2002.01.30 |
| 申请人 | 瑞尼斯豪公司 | 发明人 | 大卫·肯尼斯·托马斯;安德鲁·洛克;格雷厄姆·理查德·弗格森 |
| 分类号 | G01D5/241(2006.01);G01B7/012(2006.01) | 主分类号 | G01D5/241(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 林潮;顾红霞 |
| 主权项 | 1.一种测量探头，包括：壳；探针支架；悬挂系统，用于将探针支架相对于壳悬挂，并且提供探针支架相对于壳的一个平动自由度以及探针支架相对于壳的两个转动自由度；以及传感器，用于测定壳和探针支架之间的位移，传感器具有安装于壳的第一电容元件以及安装于探针支架的第二电容元件，第二电容元件与第一电容元件相互协作并可相对于第一电容元件移动，其特征在于，悬挂系统具有弹性件以提供所述平动自由度以及另外的弹性件以提供所述转动自由度。 | ||
| 地址 | 英国格洛斯特郡 | ||