激光烧蚀固体进样装置

摘要

一种激光烧蚀固体进样装置，激光器采用高斯变反膜非稳腔激光腔结构，输出光束均匀；激光器输出光路采用二维扫描技术，在烧蚀软件的控制下，激光束可在固体样品表面点/线/面进行烧蚀，烧蚀速度快，稳定性好；样品调焦和定位系统采用样品一步定位式技术，样品与激光聚焦透镜的相对距离调节简单，样品固定方便，可显著提高分析效率；烧蚀控制系统提供的同步触发信号可实现分析仪器数据采集和激光烧蚀的同步。

主权项

1.一种激光烧蚀固体进样装置，包括激光器系统、样品激发和导出系统、样品调焦和定位系统和烧蚀控制系统，其特征是：激光器系统是由短脉冲激光器(1)，调节光路镜组(2)，XY扫描振镜组(3)和透镜(4)组成，短脉冲激光器输出光路采用二维扫描技术，短脉冲激光器(1)输出的光束经调节光路镜组(2)调节至XY扫描振镜组(3)中心，XY扫描振镜组(3)的转动改变激光束沿X、Y方向的出射位置，透镜(4)将激光束聚焦在XY方向固定的样品(5)表面；样品激发和导出系统是由石英罩(6)，样品激发腔(7)组成，激光束透过石英罩(6)、样品激发腔(7)将能量耦合到样品(5)表面，石英罩(6)和样品激发腔(7)之间通过密封圈(8)进行密封连接；样品调焦和定位系统是由调焦台(9)组成，调焦台(9)升降调节固体样品相对于聚焦透镜的相对距离，样品激发腔(7)和通过连接板(12)和调焦台(9)相连，针对特定材料，焦距优选固定后，对于特定材料的不同固体样品(5)，只要贴紧密封圈(15)保证样品激发腔(7)的气密性即可完成样品的一步定位；烧蚀控制系统包括控制计算机(16)，控制计算机(16)可控制激光烧蚀的启动结束，控制激光烧蚀的起始位置，点或线或面的点阵模式，烧蚀时间，并提供同步触发信号实现分析仪器数据采集与激光烧蚀的同步。