管状磁体组件

摘要

本发明披露了一种可以安装在圆柱形靶内部的管状磁体组件，所述磁体组件可以相对于圆柱形靶转动或平动。本发明的磁体组件和现有技术的区别在于，其包括和远磁场组合的近磁场，近磁场用于把电荷约束在靶子附近，远磁场到达基体，用于朝向基体引导电荷。这种磁体组件还具有这样的优点：其是有角度地定向的，并可被中心安装在离子镀沉积单元中。

主权项

1.一种可以安装在圆柱形靶的内部并可以相对于靶运动的管状磁体组件，所述管状磁体组件具有纵向对称轴，所述管状磁体组件包括管状支撑和朝向所述管状支撑的外部设置的多个磁体排，所述磁体排基本上在所述圆柱形靶的整个长度上基本上平行于所述对称轴被设置，所述磁体排在其北极性或者南极性的外表面产生基本上径向取向的磁场，每个所述磁体排在其外表面产生磁力线的通量，所有所述磁体排的所述通量的和接近于0或等于0，其特征在于：所述磁体排的至少一个的，从所述至少一个磁体排发出的或到达所述至少一个磁体排的磁力线的基本部分连接于与和所述至少一个磁体排直接相邻的磁体排不同的一个或多个磁体排。