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发明名称 METAL-POLISHING SOLUTION HAVING GOOD IN-PLANE UNIFORMITY AND LOW SCRATCH, AND CHEMICAL-MECHANICAL POLISHING METHOD
摘要
申请公布号 KR20070033907(A) 申请公布日期 2007.03.27
申请号 KR20060091587 申请日期 2006.09.21
申请人 发明人
分类号 C09K3/14;B24B37/00;H01L21/304 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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