发明名称 SUBSTRATE POLLUTION CONTROLLER AND A DEHYDRATION BAKE SYSTEM HAVING THE SAME TO PREVENT A SUBSTRATE FROM BEING POLLUTED BY A POLLUTANT WHEN TRANSFERRING THE SUBSTRATE
摘要
申请公布号 KR20070033725(A) 申请公布日期 2007.03.27
申请号 KR20050088202 申请日期 2005.09.22
申请人 发明人
分类号 G02F1/13 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
主权项
地址