| 发明名称 |
FOCUSED ION BEAM SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100700408(B1) |
申请公布日期 |
2007.03.27 |
| 申请号 |
KR19990007439 |
申请日期 |
1999.03.06 |
| 申请人 |
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发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/10 |
主分类号 |
H01J37/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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